Microscopie Electronique à Balayage (MEB)
La microscopie électronique à balayage (MEB) est une technique de microscopie électronique capable de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon en utilisant le principe des interactions électrons-matière. Le faisceau d’électrons primaires qui vient frapper la surface de l’échantillon donne lieu à tout un spectre de particules ou rayonnements : électrons secondaires, électrons rétrodiffusés, électrons Auger ou rayons X. Ces différentes particules ou rayonnements apportent différents types d’informations sur la matière dont est constitué l’échantillon.
Instrument :
- Microscope Carl Zeiss Gemini 500 & JEOL 6700F
- Analyseur EDX (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) pour des analyses / cartographie élémentaire
- Grandissement 20 – 2 000 000 ×
Limitations :
- Pour les analyses chimiques, les concentrations doivent être supérieures à 2-3 %.
- Erreur plus importante sur l’analyse des éléments légers (B, C, N, O …)
- Pour les échantillons isolants, une fine couche de C sera déposée à la surface
Applications :
- Science des matériaux (analyse / imagerie de surface)
- Couches minces, nanostructures, nanotubes, nanofils, nanoparticules,…
- Métaux, aciers, céramiques, verres …
Demandes à envoyer à : Silviu Colis
Personnel technique : Cédric Leuvrey, Thierry Dintzer, Jacques Faerber, Thierry Romero
